Postopek jedkanja kovin

Eden ključnih korakov v integrirani proizvodnji vezja je odstranjevanje tankega filmskega sloja, ki ni pokrit z uporom, in pridobiti vzorec na tankem filmu, ki je popolnoma skladen z uporniškim filmom.
V procesu izdelave integriranih vezij je najprej potrebna vrsta drobnih operacij, kot so poravnava maske, izpostavljenost in razvoj, da natančno ponovimo želeni vzorec na uporniškem filmu. Poleg tega se lahko z visoko natančnostjo elektronskih žarkov neposredno uporabijo tudi za risanje želenega vzorca na uporniškem filmu.
Po zaključku tega koraka se vzorec takoj prenese v dielektrični tanek film (na primer silicijev oksid, silicijev nitrid, polikristalni silicij) ali kovinski tanki film (kot so aluminij in njegove zlitine) pod upornostjo z izjemno visoko natančnostjo, s čimer ustvarimo tanek ležalni vzorec na tankem filmu, ki je popolnoma dosleden z oblikovalskimi zahtevami.

Postopek jedkanja ima ključno vlogo v tem procesu, ki selektivno odstrani nezaščiteno tanko film s kemičnimi, fizikalnimi ali kombinacijo obeh metod, ki tvori vzorec na tankem filmu, ki je enak tistemu v upornem filmu.Jedro tehnologije jedkanja je v njegovi selektivnosti, torej le odstranjevanje delov, ki niso pokriti z uporom, hkrati pa ohranijo dele, zaščitene z uporom.
Tehnologija jedkanja je v glavnem razdeljena na dve vrsti: suho jedkanje in mokro jedkanje.Suho jedkanje v glavnem uporablja reaktivne pline in plazmo za jedkanje, medtem ko mokro jedkanje v glavnem dosega jedkanje s kemičnimi reakcijami med kemičnimi reagenti in materialom, ki se jedkal, običajno v tekočem okolju, pri čemer uporablja kemične raztopine za selektivno raztapljanje tankih filmskih materialov.
Vsaka dva metoda jedkanja imata svoje prednosti in slabosti. V praktičnih aplikacijah jih je treba izbrati in optimizirati v skladu s posebnimi potrebami, da se zagotovi končni tanek plast, ki ustreza oblikovalskim zahtevam.