Idealne značilnosti procesa jedkanja

Idealen postopek jedkanja bi moral imeti naslednje ključne značilnosti, ki bodo ustrezale visokim natančnim zahtevam za izdelavo polprevodnikov in drugih polj za mikro nano obdelavo:

① Anizotropno jedkanje, kar pomeni samo navpično jedkanje brez bočnega vrtanja . samo na ta način lahko zagotovimo natančno razmnoževanje geometrijskih oblik, ki so enaki tistim, ki so na uporu na jedkanem filmu;
② Dobra selektivnost jedkanja pomeni, da je stopnja jedkanja upora, ki se uporablja kot maska in osnovni tanki film ali material, veliko nižji kot pri jedkanem tankem filmu, da se zagotovi učinkovitost uporov med postopkom jedkanja in preprečuje poškodbe drugih materialov pod tankim filmom zaradi prekomernega jedkanja;
③ Velike obdelave serije, enostaven nadzor, nizki stroški, minimalno onesnaževanje okolja, primerno za industrijsko proizvodnjo .